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          為確保磁場的強度一致性,需要對所用磁鐵的磁場強度進行挑選,盡量選擇磁場強度一致的磁鐵。陰極裝配完畢後,采用高斯計沿陰極橫向對磁場強度進行掃描測量,繪出磁場強度曲線,可采用調整磁鐵到靶材距離的方法微調該處磁場強度,確保磁場沿陰極橫向的一致性。


          陰極使用過程中應嚴格控製冷卻水溫,並及時更換靶材,防止永磁體過熱,因其過熱不僅會導致磁場強度衰減,也會造成磁場不均現象。


          鍍膜室真空度、溫度、玻璃泡芙短视频APP官方下载地址恒定的真空度根據工藝氣體流量,對分子泵抽速、數量配置和安裝位置進行合理配置。完善可靠的腔室密封,所有的動密封如傳動站、翻版閥等處均采用磁流體密封,蓋板和腔室之間采用壓差密封,即對兩道密封圈之間的空間抽真空,從而提高大型密封麵的密封效果。進出片過渡室內部各布置2~3套阻流器,減少門閥開啟閉合對鍍膜室內真空度的擾動。


          溫度控製陰極及鍍膜室腔體通軟化水冷卻,並對進出水的溫度和流量進行監控。


          幹燥度控製玻璃清洗完畢後應確保幹燥充分。生產線旁應布置幹燥壓縮空氣(CDA)儲氣罐,在空氣濕度大的時候,進出片室在充氣時可選擇接通CDA,以減少進入腔室內的水蒸氣分子。


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